半導体グリーンファブ研究会へようこそ！
本研究会は、「半導体量産向け巨大工場『ギガFab』のポテンシャルを解き放ち、究極のラボ・オートメーションを実現することで、探索的研究に活用する」というモチーフを掲げ、様々な視点から、科学的に裏付けられたプロトコルを見出していくことを目指して設立されました。
そのために、応用物理学全般、周辺の研究分野、産学官様々な方々にお集まりいただける場をご提供していきます。設立時に想定している具体的な研究開発テーマは、以下の通りですが、これに限るものではありません。
シンポジウムや見学会の企画だけではなく、応用物理学会学術講演会で、研究会としてのセッションも設ける予定です。「グリーンファブ」を要として、関係する研究・産業分野の振興、技術普及と人的交流の活性化、そして、新しい研究が芽吹くことを願っています。
☆ ロボティクス、インフォマティクス、AI技術等の活用による研究開発の加速とグリーン化
☆ 革新的コンピューティング技術を活用した半導体製造プロセスの高度化・最適化
☆ CPS関連技術、例えばデジタルツインを用いた製造プロセスの試行・設計
☆ サイバーフィジカルループ、サイバネティック・アバターによるモノづくりの変革
☆ 電力、CO2、水、部材消費等の指標を得て、社会活動へのインパクトを抑えつつ、製造現場のNetzeroやグリーン化を、段階を追って推進する技術の開発（センサー、エネルギーハーベスター、通信技術、MES等システム開発他）
☆ その他、グリーントランスフォーメーション（Green Transformation, GX）やグリーン移行（Green Transition）など、様々な社会的課題の解決に向けた取り組み
※応用物理学会外の方々だけでなく、応用物理学会内、例えば、産学連携委員会、研究会、新領域グループの皆様との共催イベントなども積極的に進めていこうと考えています。ご遠慮なくお声がけください！
What's New
2026/3/9
第73回 応用物理学会 春季学術講演会 テクニカルシンポジウム
Lab to Fab 2
量産化とグリーン化を突破するための半導体研究
2026年3月16日(月) 13:30～18:30
東京科学大学 大岡山キャンパス W9-222 /Zoomハイブリッド
半導体研究が社会に実装されるためには, 量産化の可能性やグリーン化といった現場起点の制約を踏まえた研究設計が不可欠です.
本シンポジウムでは, 半導体工場の現場が直面する技術的・工程的な制約や要請を研究者と共有し, それを起点に新たな発想や設計思想を築くことを目指します. 研究と現場の対話を通じて, 我が国の半導体産業が再び輝く未来に向けて, 量産化とグリーン化を突破する研究のあり方をともに考えます.
★招待講演（敬称略）
「デジタル化がもたらす半導体工場の未来：AI とスマートファクトリー」
上野 隆康 （キオクシア）
「高品質チップを最速で市場へ：Rapidus の DMCO/Raads 戦略が変える半導体開発の未来」
鶴崎 宏亀（Rapidus）
「プロセスインフォマティクスによる半導体製造技術の深化」
髙石 将輝（アイクリスタル）
「半導体製造グリーン化への化学産業の貢献：廃酸類リサイクル事業」
高橋 堅太（下関三井化学）
「グリーンな半導体製造に向けたウェットプロセス革新とエコシステムづくり」
宮島 弘樹（SCREEN セミコンダクターソリューションズ）
★一般講演（敬称略）
「物理に基づく中間変数を用いた ALD-SiO2 複数回アニールモデルの再利用性検証」
岡地 涼輔 他 （豊田中央研究所）
「少数データセットにおけるガウス過程回帰を用いた単一濃度・温度条件に対する
Si3N4 膜のウェットエッチング量予測 ガウス過程回帰を用いた複数の薬液条件に
おける SiO2 膜 /Si3N4 膜のウェットエッチング量予測」
平田 佑亮（東京大学 , SCREEN セミコンダクターソリューションズ）
「サステナブルなALDの原料オンデマンド供給を可能にする高速開閉バルブの動作制御」
石田 栞大他（熊本大学、堀場エステック）
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