半導体グリーンファブ研究会 Archive

第70回 応用物理学会 春季学術講演会 シンポジウム

2023年3月16日 上智大学四谷キャンパス

究極のラボ・オートメーション:半導体ギガFabを実験用巨大ロボットとして動かせるか?