半導体グリーンファブ研究会 Committee

委員長      秋永 広幸  産業技術総合研究所

副委員長     熊谷 賢治  村田機械

幹事(広報担当) 三河 巧     SCREENセミコンダクターソリューションズ

幹事            青野 真士     Amoeba Energy

幹事       天野 英晴  慶應義塾大学

幹事       北村 亘   村田機械

幹事       高橋 恒一  理化学研究所

幹事       一杉 太郎  東京大学